怎樣提高SEM圖像的立體感

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發(fā)表時(shí)間：2021-01-18 14:28

對(duì)于表面比較平坦的樣品，在拍攝SEM圖像的過(guò)程中常常會(huì)發(fā)現(xiàn)圖像的立體感特別差，圖像沒(méi)有層次感，所以使得圖像的整體感覺(jué)較差，那么有哪些拍攝技巧可以增加圖像的立體感及層次感。今天介紹三種增加圖像的立體感的方法。

方法一：傾斜樣品臺(tái)

對(duì)于有些表面平坦，內(nèi)部有些微結(jié)構(gòu)的樣品，當(dāng)我們將樣品平放在樣品臺(tái)上時(shí)，我們只能觀察到樣品上表面的細(xì)節(jié)信息，觀察不到樣品內(nèi)部的結(jié)構(gòu)信息（類(lèi)似于人從上往下觀察樣品）。這種情況可以將樣品臺(tái)傾斜一定角度，再去觀察，可以觀察到內(nèi)部的形貌信息，還可以增加圖像的層次感，如下圖：

圖1 激光灼燒樣品，左圖無(wú)傾斜，觀察到樣品平坦的表面，右圖傾斜45度，觀察到孔中豐富的結(jié)構(gòu)信息

方法二：選擇合適的探測(cè)器

不同的探測(cè)器由于放置在電鏡的不同位置，所以其接受的電子信號(hào)的種類(lèi)及角度都不同，可反應(yīng)樣品不同的信息。對(duì)于表面比較平坦的樣品，如果希望增強(qiáng)圖像的立體感，SED探測(cè)器是最好的選擇，圖2為SED探測(cè)器探測(cè)信號(hào)的原理圖，在SE探測(cè)器前端的法拉第籠上通常會(huì)加上幾百伏的電壓，這個(gè)電壓將有效的吸引二次電子信號(hào)，產(chǎn)生的各個(gè)方向的二次電子信號(hào)都將被探測(cè)器吸收，這使得二次電子圖像的立體感較其他探測(cè)更好的原因。