電鏡學(xué)堂 | 細(xì)談二次電子和背散射電子(三)

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發(fā)表時(shí)間:2020-01-21 10:53


 減速模式的總結(jié)


根據(jù)我們前兩章介紹的SE和BSE的襯度和特點(diǎn),我們也很容易總結(jié)出在BDM模式下不同位置探測(cè)器接收到的信號(hào)以及襯度特點(diǎn),如下表。



高位


低位

SE占比

較多

較少

高角BSE占比

較多

較少

低角BSE占比

較少

較多

分辨率

表面敏感度

立體感

抗荷電

強(qiáng)

成分襯度

強(qiáng)

形貌襯度

強(qiáng)

更強(qiáng)

電位襯度

強(qiáng)


        在減速模式下各個(gè)探測(cè)器獲得的都是 SE 和 BSE 混合的信號(hào),所以都表現(xiàn)出綜合襯度的特點(diǎn)。不過(guò)相對(duì)來(lái)說(shuō)較高位探測(cè)器的高角BSE和SE占比較高,因此對(duì)表面的敏感度更高、分辨率也更好,不過(guò)相對(duì)立體感較差,也更容易受到荷電的影響;而較低位探測(cè)器的SE占比較少,中低角BSE占比較多,表面敏感度和分辨率都有所下降,不過(guò)立體感和抗荷電能力則更好。
        因此減速模式下究竟使用哪個(gè)探測(cè)器,需要根據(jù)樣品的實(shí)際情況以及關(guān)心的問(wèn)題來(lái)進(jìn)行選擇,而不要始終用儀器默認(rèn)的探測(cè)器。減速模式對(duì)操作者有較高的要求,除了要學(xué)會(huì)掌握操作技巧外,也需要對(duì)圖像的綜合襯度進(jìn)行解讀和分離。



文末小問(wèn)題:


這是電池隔膜試樣的圖片,你知道不同角度(左為低角、右為高角)表現(xiàn)出的襯度差異是如何造成的嗎?



答案:兩張圖都是在減速模式下拍攝:左圖為低角電子,背散射相對(duì)占主要部分,表現(xiàn)出形貌襯度,因?yàn)椴馁|(zhì)均勻,所以沒(méi)有明顯的成分襯度;右圖為高角電子,二次電子占主要部分,表現(xiàn)為比較明顯的電位襯度和形貌襯度。



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